GO HexStage 2 HV

GO HexStage 2 HV 可在 X、Y 和 Z 轴方向以及围绕 X、Y 和 Z 轴,以纳米级精度移动最大 2.5 kg 的负载。 PRECIBEO GO Stage HV 专为低至 10⁻⁴ Pa 的高真空环境设计。每个平台均配备一条真空侧电缆(PTFE 涂层导线,外覆金属编织护套),末端配有 D9SUB 母头连接器。每个平台还附带一条空气侧 D9SUB 母头至 ix-Industrial 电缆。 将真空侧和空气侧电缆连接至您的 D9SUB 贯穿件,将空气侧 ix 连接器连接至 GO Controller,即可开始使用!​

模块化PRECIBEO GO系统中的所有产品均兼容,可轻松组合成多轴系统,提供平稳连续的运动、快速的步进和稳定时间,以及静止时的自锁功能。

定位GO-HEX2HV-15GO-HEX2HV-30
旅行 (X, Y, Z)±5 mm
Travel Θ(X, Y, Z)± 10°
最小增量移动(X、Y、Z)2 nm
最小增量位移 Θ(X, Y, Z)5 mm/s1 mm/s
驱动类型GO-HEX2HV-15GO-HEX2HV-30
基础模块PRECIBEO GO Stage LLS4545 HV(行程限制在±5毫米内)
机械GO-HEX2HV-15GO-HEX2HV-30
最大载荷位于顶部中心1 kg2,5 kg
直径138 mm
高度117-127 毫米
杂项GO-HEX2HV-15GO-HEX2HV-30
真空侧电缆6根1米长(±5%)的电缆,配有f. D9SUB连接器
机坪侧电缆6根2米长(±5%)的电缆,配有f. D9SUB和ix Industrial™连接器
材料铝
  • GO HEX2HV 产品说明书

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  • GO HEX2 STEP

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