
PRECIBEO GO HexStage
6轴压电定位平台
通过一个平台控制位置和方向
使用PRECIBEO GO HexStage,可在所有六个自由度上对组件进行对准。压电行走驱动器将2 nm的最小线性增量位移与强大的垂直提升能力、平滑连续的运动以及静止时的自锁功能相结合。

6
受控自由度
2 nm
线性最小增量运动
±10°
各轴的角位移
2.5 kg
最大居中顶部载荷
10⁻⁴ Pa
高真空型
六个自由度
什么是六轴定位台?
六轴纳米定位平台可控制三个平移方向——X、Y 和 Z——以及围绕这三个轴的三个旋转方向。这六个自由度使您能够调整部件的位置和角度方向,以实现空间对准。
GO HexStage 将这些运动功能整合到一个定位平台上,并提供标准版和高真空版,以满足仪器集成需求。
在评估精密六足机器人时,应比较其平移、旋转和有效载荷的可用组合。对于紧凑型系统,还需检查安装直径、高度以及待移动部件周围的空间情况。
六个自由度
闭环纳米定位与垂直运动
六个自由度
通过一个并联机构定位平台,同时控制沿X、Y和Z轴的平移以及绕各轴的旋转。
纳米级线性增量
压电步进驱动器可在毫米级行程范围内提供2 nm的最小线性增量位移,可在同一系统中实现粗调和精对准。
高推力垂直定位
选择 15 N 型号可提升 1 kg 的居中负载,选择 30 N 型号可提升 2.5 kg 的负载;两种 HexStage 型号均提供相同的力值选项。
运行平稳且具有自锁功能
闭环反馈可实现平稳连续的运动和快速的移动与稳定过程,同时驱动器在无需持续驱动功率的情况下仍能保持位置。
比较 GO HexStage 型号
| 规格 | GO HexStage 1 | GO HexStage 2 |
|---|---|---|
| 受控动作 | X/Y/Z 轴及各轴的旋转 | X/Y/Z 轴及各轴的旋转 |
| 线性行程 | 每个轴±10 毫米 | 每个轴±5毫米 |
| 角位移 | 各轴周围±10° | 各轴周围±10° |
| 线性最小增量运动 | 2 nm | 2 nm |
| 直径 | 220 mm | 138 mm |
| 最大居中顶部载荷 | 1 千克或 2.5 千克 | 1 千克或 2.5 千克 |
| 高真空型 | 有货 | 有货 |
高推力垂直定位
请为您的有效载荷选择驱动程序版本
这两种 HexStage 格式均将强大的 Z 轴运动能力与对位置和方向的精细控制相结合。在指定系统时,请将工件、夹具及其重心一并考虑在内。
匹配完整的作业范围
载荷能力、重心以及平移与旋转的同步性都会影响可用的运动包络。我们协助核查各项综合要求,确保所选的机型和驱动版本能够满足整个对准任务的需求。
垂直提升方案
| Z驱动器版本 | 15 N | 30 N |
|---|---|---|
| 提升居中负载 | 1 kg | 2.5 kg |
| 最大顶部负载时的Z轴速度 | >5 毫米/秒 | >1 毫米/秒 |
| Z轴断电保持力 | 18 N | 33 N |
六轴控制
软件与控制器的集成
GO HexStage 通过两个菊花链连接的 GO 控制器进行工作。每个控制器控制三个驱动阶段;它们共同通过一个 USB 连接提供六个控制通道。
高真空
10⁻⁴ Pa
适用于真空环境的六轴平台
HexStage 1 HV 和 HexStage 2 HV 可在高达 10⁻⁴ Pa 的高真空环境下提供六轴运动。
真空侧电缆通过腔体穿墙套管与空气侧电缆及控制器相连。在配置高真空定位系统时,请考虑安装空间、电缆布线及腔体连接。
应用
适用于科学和工业领域的六轴对准
光学对准
调整组件的位置和角度,包括用于光纤阵列对准的夹具
计量与检测
根据测量系统对样品、传感器和夹具进行定位
显微镜与先进成像技术
调整样本位置和观察方向
研究用及OEM仪器
在常压或高真空设备中集成六自由度定位功能
动议
定义每个轴所需的线性运动和角运动。
有效载荷
请包括部件、夹具、重心和安装方向。
机械包络
可选择配备 HexStage 1 的 ±10 毫米行程,或配备 HexStage 2 的 138 毫米直径。
动力学
根据负载和所需速度,选择15 N或30 N的Z型驱动器。
系统
计划控制器、软件、电缆、访问权限以及常压或高真空环境。
您的问题
常见问题
什么是六足机器人?
在精密定位领域,六足机器人是一种具有六个可控自由度的并联运动平台。传统的斯图尔特平台采用六个执行器将底座与移动平台连接起来。六足机器人平台被选作满足所需工作空间要求的完整机械与控制系统。
在选择六足机器人控制器或六轴控制套件时,应该比较哪些方面?
请查看支持的舞台配置、应用软件和编程接口。GO HexStage 采用两个菊花链连接的 GO 控制器,并配合 GO DLL C++ 及配套的 Windows 应用程序。该 C++ DLL 提供了易于使用的函数,用于六轴程序集成。
2 nm 的最小增量运动是否意味着 2 nm 的精度?
不。2 nm 这一数值指的是最小的线性运动增量。定位精度和重复性是两个独立的特性;在考虑这些特性时,还应同时考虑负载、安装方式和运行条件。
什么时候三个坐标轴就足够了?
若需进行平面X–Y–旋转对准或Z轴倾斜/俯仰调整,请了解GO三轴平台。六轴控制可实现全面的空间定位和定向。
让我们来查找您的配置
配置您的六轴定位系统
请告知我们所需的线性运动和角运动、负载、重心、安装方向、速度、可用空间以及环境条件。我们将协助您选择 HexStage 的型号、力控制版本、控制器及集成组件。
电子邮件 info@precibeo.com
或致电 +46 18 700 13 40



