PRECIBEO GO 三轴平台
三轴压电定位台
三自由度的精密对准
使用PRECIBEO GO三轴纳米定位平台，可对组件进行居中、旋转和水平校准。压电步进驱动器兼具高推力、2 nm的最小线性增量位移、平滑连续的运动以及静止时的自锁功能。
2 nm
线性最小增量运动
±10 mm
线性行程
±10°
GO XYR 角行程
2.5 kg
GO TipTilt最大提升高度
10⁻⁴ Pa
高真空型
闭环纳米定位
利用有效力进行精密对准
每个压电平台均采用GO压电步进驱动器，将纳米级线性调整与毫米级行程相结合。闭环位置反馈系统对运动进行调控，可在同一系统内实现粗定位和精对准。
高力密度使GO XYR能够定位重量最高达10千克的居中顶部负载，而GO TipTilt则能提升最高2.5千克的负载。平滑的连续运动和快速的移动与定位性能支持重复对准，而自锁式驱动装置可在无需持续驱动电源的情况下保持位置。
为什么选择PRECIBEO GO三轴平台？
纳米级调节
GO压电行走驱动器可在同一系统内同时提供2 nm的最小线性增量位移和毫米级行程，满足粗定位和精细对准的需求。
有效力和垂直升力
GO XYR在平面运动过程中可支撑最大10千克的居中顶部负载，而GO TipTilt根据所选驱动版本的不同，最大可提升2.5千克。
闭环、连续运动
位置反馈可调节平滑连续的运动，并支持快速移动和定位行为，以满足重复对准任务的需求。
静止时自动锁定
步行式压电驱动器无需持续供电即可保持位置，包括GO TipTilt上的垂直有效载荷。
比较GO XYR和GO TipTilt
| 规格 | GO XYR | GO TipTilt |
|---|---|---|
| 线性行程 | X/Y：±10 毫米 | Z：±10 毫米 |
| 角位移 | Z轴方向：±10° | X/Y方向：±9° |
| 线性最小增量运动 | 2 nm | 2 nm |
| 直径 | 165 mm | 150 mm |
| 最大居中顶部载荷 | 10 kg | 1 千克或 2.5 千克，具体取决于版本 |
| 高真空型 | 有货 | 有货 |
XYR 平面对准
在同一平台上居中并旋转
GO XYR 结合了 X 和 Y 方向上 ±10 mm 的行程以及围绕 Z 轴的 ±10° 旋转。当需要在同一平面上对工件进行居中定位和定向时，可使用该装置。
公布的定位范围
| 规格 | GO XYR |
|---|---|
| X 旅行 | ±10 mm |
| Y旅行 | ±10 mm |
| 绕Z轴旋转 | ±10° |
| 线性最小增量运动 | 2 nm |
| 最大居中顶部载荷 | 10 kg |
电动前端倾斜
垂直定位和精细倾斜调节
GO TipTilt 结合了 ±9° 的倾斜角度和 ±10 mm 的垂直行程，用于提升和调平样品、光学组件及夹具。请根据负载能力和装载速度选择相应的驱动版本。
提升、调平并保持
压电步进驱动器兼具垂直推力、微调和无源保持功能。选择系统时，请将夹具和组件计入总有效载荷中。
选择 15 N 或 30 N
| 性能 | 15 N | 30 N |
|---|---|---|
| 提升居中负载 | 1 kg | 2.5 kg |
| 最大顶部负载时的Z轴速度 | >5 毫米/秒 | >1 毫米/秒 |
| Z轴断电保持力 | 18 N | 33 N |
反射镜对准与激光束偏转
在合适的反射镜支架下方安装一个电动倾斜平台，既可调节光束方向，也可调节安装高度。
在选择电动镜架或激光束转向系统时，应根据光学布局来匹配其角范围、有效载荷和所需响应时间。
控制与集成
通过一个控制器协调三个驱动器
GO Controller通过闭环点对点控制，可同时驱动这三个驱动器。通过USB连接，并使用GO软件和编程接口，将运动控制功能集成到您的仪器中。
选择您所需的三轴组合
GO XYR 和 GO TipTilt 是具有不同运动组合的完整三轴配置。如果您的应用需要 X、Y 和 Z 方向的平移运动，可以将三个 GO 线性滑台组装成一个独立的 GO XYZ 组件——这是一种替代配置，而非 GO XYR 或 GO TipTilt 的扩展组件。
随心掌控
GO TipTilt 支持 GO Motion 和 C++ DLL。该控制器平台还提供 Precibeo ASCII Rapid 命令、GO Command 以及 LabVIEW 驱动程序。针对具体型号的数据表和 CAD 文件下载可帮助您规划安装和布线。
高真空
10⁻⁴ Pa
真空兼容的三轴载物台
GO XYR HV 和 GO TipTilt HV 支持低至 10⁻⁴ Pa 的真空度运行。通过将真空侧电缆经由腔室穿墙套管连接至大气侧电缆和 GO Controller，即可构建用于平面对准或垂直调平的高真空定位系统。
应用
适用于科研和工业领域的三轴对准
光学与光子学
对准光学元件中心，调整旋转角度并校准反射镜固定装置以定位光束
半导体计量学
对样品和夹具进行对准，以便进行检测或测量
显微镜
调整样品高度、倾斜角度和面内取向
研究用及OEM仪器
在常压或高真空环境下实现精确的三轴对准
运动
选择 X/Y 方向加旋转、Z 方向加两轴倾斜，或 XYZ 方向平移。
行驶里程和续航里程
匹配所需的线性行程和角行程范围。
有效载荷与动力学
请注明夹具、重心和所需速度。simplified-chinese (Mainland)
机械集成
检查安装空间、接口和线缆布线。
环境与控制
选择标准或高真空级、控制器和软件接口。
您的问题
常见问题
每个三轴平台都是XYZ平台吗？
三个轴可以描述不同的运动组合。GO XYR提供X/Y平移和Z轴旋转；GO TipTilt提供Z轴平移和X/Y轴倾斜。GO XYZ组件提供三个线性轴。
我应该选择电动云台还是倾斜台？
当主要需求是围绕指定枢轴点进行角度调整时，应选择电动云台，尤其是在光学元件旋转时需要保持居中的情况下。当有效载荷不仅需要高度调节，还需进行两轴水平校准时，应选择GO TipTilt：它在同一承重平台上集成了Z轴平移以及围绕X轴和Y轴的倾斜功能。
2 nm 的最小增量运动是否意味着 2 nm 的精度？
2 nm 的规格描述了最小的线性增量移动。应分别评估定位精度和重复性，同时还要考虑有效载荷和工作条件。
让我们来查找您的配置
配置您的三轴定位系统
请告知我们所需的运动范围、行程、角行程、有效载荷、重心、速度、安装空间及工作环境。我们将协助您选择平台、驱动版本、控制器及集成组件。
电子邮件 info@precibeo.com
或致电 +46 18 700 13 40