长行程下的微调
GO 线性轴将 2 纳米传感器分辨率与最小增量运动相结合，并具备厘米级行程。
多级组件
多轴定位平台
精准运动。您的配置。
利用PRECIBEO GO构建您的应用所需的运动系统。将紧凑型压电步进平台组合成XY、XYZ以及线性加旋转组件，实现闭环控制和纳米级线性定位。
根据滑台型号选择 10、20、35 或 50 毫米的线性行程，添加连续旋转功能，并在整个 GO 线性滑台系列中配置高推力垂直运动。兼容的滑台、安装座和控制器将您的各轴整合为一个模块化定位系统。
XY / XYZ
线性轴配置
10–50 mm
按阶段形式旅行
2 nm
线性传感器分辨率
360°
连续旋转
10⁻⁴ Pa
高真空选项
为什么选择PRECIBEO GO？
了解 GO 线性滑台的技术规格。
紧凑型构建模块
GO-LS 模块单个宽度为 45 毫米，高度为 14 毫米，其中 GO-LS4545 模块（不含电缆和连接器）重 75 克。
高力密度
5 N 和 10 N 线性滑台型号可满足高要求的定位和垂直提升需求。
响应式定位
压电步进驱动器可提供平稳连续的运动、快速的移动与定位性能，并在静止时具有自锁功能。
灵活的集成
利用兼容的机械接口和通用控制器平台，将平移、升降和旋转功能结合起来。
选择您的多轴配置
将各个阶段组合成一个多轴系统，并根据您的应用需求配置行程和安装方式。
用于精密平面定位的微型XY工作台
XY定位台（也称为XY工作台）由两个线性压电平台组合而成，可实现X轴和Y轴的独立运动。您可选择单轴行程为20、35或50毫米的电动XY定位台，该设备既能处理样品的重新定位，也能进行微调。
低矮型 GO-LS 模块可组成紧凑型 XY 定位器，适用于对空间和样品可及性有要求的仪器。
用于三维定位的高精度XYZ工作台
XYZ定位台增加了用于高度调节、对焦和对准的垂直轴。您可以使用GO-LS将XYZ定位台配置为20、35或50毫米的Z轴行程，或者使用GO Elevation的平移式顶板配置为10毫米行程。
每种 GO 线性工作台型号均具备相同的、随力变化的垂直提升性能，为您的 XYZ 平移工作台提供了多种行程和安装几何结构的选择。
结合平移和旋转
添加GO-RS4545，以构成XY-theta或XYZ-theta组件，实现线性定位与角度对准。
比较多轴配置
| 配置 | 构建模块 | 旅行 | 选择它的理由是 |
|---|---|---|---|
| XY | 两个GO-LS4545、LS6545或LS8545级 | 每个轴分别为 20、35 或 50 毫米 | 平面样品定位与对准 |
| XYZ 与 GO-LS | 三个 GO-LS 阶段和相应的垂直安装配件 | 适用于尺寸匹配的组件，每轴20、35或50毫米 | 三轴定位，Z轴行程长 |
| XYZ 与 GO Elevation | 两个GO-LS4545平台和GO Elevation | 20 毫米 X/Y；10 毫米 Z | 带平移顶部的三轴定位装置 |
| XYθ — XY-theta | 两个GO-LS4545模块和一个GO-RS4545 | 20 毫米 X/Y 轴；连续旋转 | 平面定位与角度对准 |
| XYZθ — XYZ-θ | 两个GO-LS4545平台、GO Elevation和GO-RS4545 | 20 毫米 X/Y 轴；10 毫米 Z 轴；连续旋转 | 带旋转功能的定位和高度调节 |
适用于各种线性导轨结构的高推力垂直定位
每款 GO 线性导轨均同样适用于垂直运动。压电步进技术将高力密度与精密定位相结合，使垂直运动成为该系列产品的优势所在。
GO Elevation 将 10 毫米行程与平坦的移动台面相结合，形成一款紧凑型垂直升降台。GO 垂直安装架可将任何 GO-LS 规格集成到电动 Z 轴升降台中，行程分别为 20、35 或 50 毫米。选择一款能为您的样品、光学元件或工装提供所需行程和安装空间的高精度垂直升降台。
对于一个装配体，应根据其所提升的所有部件（包括应用有效载荷、夹具以及安装在其上方的任何工作台）来确定垂直轴的尺寸。在选择配置时，应考虑载荷偏移和电缆力。
| 线性级版本 | 垂直提升 | 额定起升能力下的最低速度 | 关闭时的最小保持力 |
|---|---|---|---|
| 5 N | 0.5 kg | 5 mm/s | 6 N |
| 10 N | 1 kg | 1 mm/s | 11 N |
添加精确旋转
将线性定位与GO-RS4545相结合，可实现连续旋转，传感器分辨率为10 µ°，增量运动极小，且工作扭矩和断电保持扭矩均不低于90 mN·m。
其绝对式光电编码器支持闭环角度定位。Rotation Stage Adapter Plate（旋转平台适配板）可将 GO 线性平台安装在 GO 旋转平台顶部。请根据所需的角行程规划电缆布线，特别是在旋转平台承载其他平台时。
控制整个系统
运行这些舞台需要使用GO控制器。每个控制器可同时控制多达三个舞台；通过同一台计算机连接，两个串联的控制器可提供多达六个轴。
可使用GO Motion或GO Command，通过Precibeo ASCII Rapid、LabVIEW驱动程序或DLL进行集成，或添加GO Joystick以实现直接手动定位。闭环点对点控制结合了编码器反馈、PID调节和梯形速度曲线。
XY、XYZ 或 XY-theta 组件可由一个控制器在三轴范围内完成控制。而四轴 XYZ-theta 组件则需要两个控制器。
高真空
10⁻⁴ Pa
高真空环境下的多轴定位
高真空 XY、XYZ 和 XY-θ 组件支持低至 10⁻⁴ Pa 的工作环境。将高真空工作台与合适的安装座、适配器和腔室布线相结合，即可将模块化 GO 平台集成到真空仪器中。
选择系统时，请明确指定完整的真空内配置，包括穿墙件和活动电缆。
围绕您的应用程序构建
显微镜与生命科学
构建一个电动显微镜载物台，用于在XY方向上进行点对点样品扫描，并增加Z轴运动以实现对焦或样品高度调节。
光子学与光学
通过平移与旋转的组合，对准光纤、透镜、探测器及光学元件。
半导体检测与计量
将样品、传感器和探头放置到位，以便进行测量和测试。
研究用及OEM仪器
将微型多轴纳米定位系统集成到紧凑型设备和真空腔中。
定义该运动
选择 XY、XYZ、XY-theta 或 XYZ-theta，并指定各轴（包括 Z 轴滑台）所需的行程。
安排各阶段
请考虑工作高度、样品取样口、安装面以及所需的旋转轴。
调整有效载荷的大小
包括所采用的支承段和固定装置、重心偏移量、载荷下的力、扭矩和速度。
在样本层面指定性能
在考虑分辨率的同时，还应考虑重复性、直线度、平面度、俯仰角、偏航角以及安装对准。
完成该系统
选择控制器、软件接口、附件以及标准型或高压型结构。
常见问题
线性轴规格为2 nm，是否意味着在样品处的精度为2 nm？
2 nm 的数值描述了传感器的分辨率和最小增量位移。在样品处的定位精度取决于整个机械结构及其误差。
配置您的多轴定位系统
请告知我们您所需的轴数、行程、负载、安装方向、速度、定位性能、可用空间以及工作环境。我们将根据您的应用需求，协助您选择合适的驱动器、控制器和安装配件。
电子邮件 info@precibeo.com
或致电 +46 18 700 13 40