GO TipTilt HV
GO TipTilt HV
GO TipTilt 高真空位移台可在真空环境中沿 Z 轴以及绕 X 轴和 Y 轴以纳米级精度移动高达 2,5 kg 的负载。
模块化 PRECIBEO GO 系统中的所有产品均相互兼容，可轻松组合成多轴系统，提供平滑连续运动、快速步进与稳定时间，并在静止时自动锁定。
| 定位 | GO-TIPTILTHV-15N | GO-TIPTILTHV-30N |
|---|---|---|
| 行程 (Z) | +-10 mm | |
| 最小增量运动 (Z) | 2 nm | |
| 最小增量运动 Θ(X, Y) | < 0,1 µrad | |
| 重复精度 (Z) | +- 200 nm | |
| 重复精度 Θ(Z) | +- 15 µrad | |
| 运动 | GO-TIPTILTHV-15N | GO-TIPTILTHV-30N |
| 最大操作力（推/拉） | (Z) 15 N (min.) | (Z) 30 N (min.) |
| 保持力（断电时） | (Z) 18 N (min.) | (Z) 33 N (min.) |
| 无负载最大速度 (Z) | 8 mm/s | |
| 顶板最大负载下最大速度 (Z) | 5 mm/s (min.) | 1 mm/s (min.) |
| 驱动类型 | GO-TIPTILTHV-15N | GO-TIPTILTHV-30N |
| 基础模块 | PRECIBEO GO Linear Stage 4545 | |
| 机械 | GO-TIPTILTHV-15N | GO-TIPTILTHV-30N |
| 中心最大负载 | 1 kg | 2,5 kg |
| 直径 | 150 mm | |
| 高度 | 92 mm | |
| 其他 | GO-TIPTILTHV-15N | GO-TIPTILTHV-30N |
| 真空侧电缆 | 3 根 1 m 电缆 (+-5%)，带 f. D9SUB 连接器 | |
| 大气侧电缆 | 3 根 2 m 电缆 (+-5%)，带 f. D9SUB & ix Industrial™ 连接器 | |
| 材料 | 铝 | |
