GO Elevation HV

GO Elevation HV

SKU: GO-ELEHV-5N / GO-ELEHV-10N
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45 系列中的 Elevation 位移台提供标准版和高真空版,采用平顶设计,占用空间为 45×45 mm,垂直行程为 10 mm,并提供 5 N 或 10 N 的运行升力。

Precibeo GO Elevation Stage HV 专为低至 10-4 Pa 的高真空环境而设计。 每个阶段都配备了真空侧电缆(金属编织套管中的 PTFE 涂层导线),末端为 D9SUB 母头连接器。

每个阶段还配有一根空气侧 D9SUB 转 ix-Industrial 母头电缆。 将真空侧和空气侧电缆连接到您的 D9SUB 穿墙密封件,将空气侧 ix 连接器连接到 GO Controller,您就可以开始 GO 了!

模块化 PRECIBEO GO 系统中的所有产品均相互兼容,可轻松组合成多轴系统,提供平稳连续运动、快速步进与稳定时间,并在静止时自动锁定。

定位 GO-ELEHV-5N GO-ELEHV-10N
行程 (Z) +10 mm
位置传感器 光学编码器
传感器分辨率 2 nm
最小增量运动 2 nm
双向重复精度 +- 100nm(典型值 @ 全行程)
直线度与平面度 +- 2 µm(典型值)
俯仰 +- 150 µrad(典型值)
偏航 +- 150 µrad(典型值)
运动 GO-ELEHV-5N GO-ELEHV-10N
最大操作力(推/拉) 5 N(最小值) 10 N(最小值)
保持力(断电时) 6 N(最小值) 11 N(最小值)
最大速度(无负载) 8 mm/s
最大速度(最大操作力下) 5 mm/s(最小值) 1 mm/s(最小值)
驱动类型 GO-ELEHV-5N GO-ELEHV-10N
电机类型 压电驱动
机械 GO-ELEHV-5N GO-ELEHV-10N
最大负载 0,5 kg 1 kg
导轨类型 交叉滚子
尺寸 45x45x38 mm
重量(不含电缆和连接器) 160 g (+-10%)
其他 GO-ELEHV-5N GO-ELEHV-10N
真空侧电缆 0,5 m 电缆 (+-5%),带 f. D9SUB 连接器
大气侧电缆 2 m 电缆 (+-5%),带 f. D9SUB 和 ix Industrial™ 连接器
材料

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